ASMLホールディングの掲示板の投稿コメント詳細

中国の国有系企業が「量産」を開始するDUV装置は、ASMLのNXT:1950i（2008年出荷開始）またはNXT:1980Di（2015年出荷開始）と同程度の性能を目指すものであり、今年5台、来年20台の製造を目指している。ASMLが年間100台以上を製造している最先端DUVやEUVとは、技術力も規模感も大きな差があることに注意が必要だ。