アクセリス・テクノロジーズの企業情報（従業員数・代表者名など）

最終更新日：2026年1月13日

アクセリス・テクノロジーズ（Axcelis Technologies Inc）は、半導体業界向けに高生産性ソリューションを提供する。 【事業内容】 集積回路（IC）製造プロセスにおける重要かつ実現可能なステップのひとつであるイオン注入システムの設計、製造、ライフサイクル全般にわたるサポートを通じて、実現可能なプロセス・アプリケーションの開発に注力する。イオン注入製品には、大電流イオン注入、高エネルギーイオン注入、中電流イオン注入がある。Purion H、Purion Dragon、Purion H200、GSD/E2 Ovationスポットビーム大電流システムは、従来のすべての大電流要件だけでなく、新興および将来のデバイスに関連する要件もカバーする。Purion XE、EXE、その他のPurion高エネルギーシステムは、生産実績のあるRF Linacの高エネルギー、スポットビーム技術とPurionプラットフォームのウェーハハンドリングシステムを組み合わせたものである。中電流イオン注入製品には、Purion M Si及びSiC中電流システムがある。また、顧客にアフターサービスとサポートも提供する。