アクセリス・テクノロジーズの企業情報（従業員数・代表者名など）

2026/10/20最終更新

アクセリス・テクノロジーズ（Axcelis Technologies Inc）は、主に米国、欧州及びアジアにおける半導体チップの製造に使用されるイオン注入装置を製造する会社である。 【事業内容】 集積回路（IC）製造プロセスを可能にするステップの1つであるイオン注入システムの設計、製造及び完全なライフサイクルサポートを通じて、プロセスアプリケーションの開発に注力する。製品には「High Current」、「Medium Energy」、「High Energy」、「Mid Current」、「GSD Ovation」を含む。「Purion H6」次世代高電流イオン注入装置は、高電流アプリケーションの全領域に最適化されたスポットビームアーキテクチャーを活用し、プロセス制御を提供する。「Purion H200」は、最先端の単一ウェハー対応高電流中エネルギーイオン注入装置である。「Purion XE Series」高エネルギーイオン注入装置は、高周波（RF）リニアアクセラレーター（LINAC）技術を使用する。「Purion M」イオン注入装置は、利用可能な中電流ドーズの最も広範な範囲を提供する。