中国政府系企業、DUV露光装置の製造開始－ジ・インフォメーション

（ブルームバーグ）： 中国の政府系企業が液浸型深紫外線（DUV）露光装置の製造を開始したと、テクノロジーニュースサイトのジ・インフォメーションが、関係者2人の話として報じた。液浸型DUV装置は半導体メーカーが製造工程で使用する重要な装置の一つである。

関係者がジ・インフォメーションに語ったところによると、この企業は別の政府系スタートアップである上海宇量昇科技などの液浸型DUV装置開発チームを結集した。

報道によると、このDUV装置が中国メーカーで採用され、大量生産に用いられれば、オランダ大手、ASMLホールディングの製品に取って代わることが可能になる。

上海に本社を置くこの企業は、今年約5台のDUV装置を製造し、2027年には約20台を製造する計画だ。

これらのDUV装置は今年、中芯国際集成電路製造（SMIC）や華虹宏力半導体のほか、メモリー大手の長鑫存儲技術（CXMT）など中国国内の半導体メーカーに納入される。

ジ・インフォメーションによると、上海宇量昇科技とSMIC、華虹宏力半導体、およびCXMTはコメント要請に応じなかった。

原題：China Plans Mass Production of DUV Chipmaking Tools: Information（抜粋）

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