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(株)ジェイテックコーポレーション【3446】の掲示板 2021/05/26〜2021/07/22

大気圧数値制御プラズマCVMとは
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半導体デバイス製造に用いられる真空あるいは低圧プラズマと⽐べ、高圧⼒のプラズマを用いることにより、高能率加工及び歪のない加工面を実現。
素晴らしい!

水晶振動子ウェハ加⼯システム(PCVM加⼯装置、膜厚ナノ測定装置及び搬送ユニット)

膜厚ナノ測定装置及び搬送ユニットも付いて
2億3千万円と お買い得だがね!

他社は ほとんど高価な真空装置が必要らしく
低圧プラズマドライエッチング ですね!