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究極な数値制御EEM加工
世界で最も平らなSi(001)表面らしいけど。
si=シリコン

超高真空中加熱(約1000℃)以外の方法で得られた世界で最も平らなSi(001)表面です。さらに、微粒子を供給する領域だけが加工されるので、必要な加工量に合わせて速度を変えながら加工ヘッド(微粒子供給装置)を送ることによって、1nmを上回る形状精度で目的とする自由曲面を創成することもできます。

究極なEEM法が次世代EUVリソグラフィに
進出 だがね!

大気圧数値制御プラズマCVM
他社と比べて 段違いなのかも?