アドバンスト・マイクロ・デバイセズ【AMD】の掲示板 2021/08/18〜2021/11/04

>>997

EUVも、光源は現在のレーザー励起の錫プラズマの錫高価イオンの4d-4f遷移による共鳴発光線13.5nmの波長と、これを反射するMoSiの多層蒸着膜反射ミラーの組み合わせは、長年の研究でやっと見つかった奇跡の組み合わせで、もうこれ以上短波長化は出来ない。
今回NA0.55で、開口数を上げたら、それが最後の進歩で、もう限界にぶち当たる。
もうEUV技術、ASMLは技術の頭打ちが見えている！