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ペリクルの話は興味深い。調べてみて、三井化学がAS MLと提携してるとか、初めて知った。

露光装置の出力向上とペリクルの透過性の改善が進んでいるので、マスク検査装置もアクティスの導入が進みそう。今のところ、T S MC以外にペリクルなしで製造できる会社があるのかな?ペリクル導入することで、微細化が容易になるなら、より一層アクティスを必要とする企業が増えそうだが。

というよりも、ペリクルの完成を見越して、インテルやサムスンの投資が決まっているのかもしれないな。レーザーテックの株価上昇もうなづける。

アクティスの価格が80億円として、ウシオの光源も20億円程度だから、レーザーテックの4分の1の時価総額があっても良いんじゃないの?