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ウシオ電機(株)【6925】の掲示板 2022/07/14〜2022/08/14

どちらにしろウシオの光源です。

euv光源を開発続けているのが、ウシオとASMLに買収されたアメリカの会社と、コマツ傘下のギガフォトンだけで、開発に成功したのがウシオとASMLの2社だけです。

なので、レーザーテックの競合も現れる余地がない状況です。他の検査方法もあるけど、結局は、露光装置に合わせた光源などの仕組みが必要なので、他社も決して真似できない状況です。

もし読んでいなければ、レーザーテックの説明会の質疑応答とか読むと面白いですよ。