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>>158

> アンリツ株式会社(社長 濱田 宏一)は、当社の先端技術研究所(以下、先端研)が水素プラズマエッチング技術を用いた、グラフェンのナノスケール微細加工技術の確立に成功したことをお知らせいたします。
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> 先端研では、魅力のある持続可能な未来を見据え、小型、高感度で、消費電力の小さいセンサーデバイスの開発に向けた基礎研究を進めています。・・・
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今後6G等の超高周波帯のセンサーデバイスを半導体チップの中に組み込む場合”自前のエッチング設備”が有れば、カット&トライで柔軟に作りこむ事が出来ると思います。次世代6Gを見据えて、先手を打っている事は期待が出来ると思います。!!!