インスペック(株)【6656】の掲示板 2021/10/20〜2022/01/05

特許出願しています。
キャリブレーションシステム及び描画装置

出願人 インスペック株式会社
発明者 菅原雅史
出願日 2019年9月26日 （2年1ヶ月経過）
出願番号　 2020-556675
公開日 2021年9月24日 （1ヶ月経過）
公開番号　WO2020-100446

概要
長尺のシート状基板（２）に対して連続的なパターンを形成する場合に、随時キャリブレーションを行うことができるキャリブレーションシステム等を提供する。

キャリブレーションシステムは、露光ヘッド（４１）を支持する露光ヘッド支持部（４３）と、光センサを含むセンサユニット（４５）と、露光時に、光センサの受光面が上記露光領域における露光面と平行となるようにセンサユニット（４５）を支持すると共に、露光ヘッド支持部（４３）に対してスライド移動可能に取り付けられたセンサユニット支持部（４６）と、露光ヘッド支持部（４３）及びセンサユニット支持部（４６）を移動させる移動機構（４４）と、制御部とを備え、制御部は、キャリブレーション時に露光ヘッド支持部（４３）及びセンサユニット支持部（４６）を移動させることにより、光センサの受光面を、露光ヘッドから出射するビームが露光時に入射する露光面に対応する位置に配置する。