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>>1024

ネットで、TSMC 2nm トランジスタ構造
で検索すると、ee times の湯野上氏の
1nmが見えてきたスケーリング
vLSI2020 リポート
に、もう少し詳しい構造解説が出てます。
BEOL 及びDRAMの微細化についても解説があります。