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 半導体関連の技術者でもある私は酸化膜エッチャーは6インチ用のTE8500とUnityしか使ったことは有りません。

 共に平行平板型のナローギャップのプラズマエッチャーです。
 
 下地シリコンとの選択比、垂直穴形状が優れていました。

 参考にしてください。